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由于夏克-哈特曼波前传感器具有：①测量系统结构和光路简单;②对光源的 时间相干性要求不高;③能够在弱光下操作；④对测量环境要求不高，且在线实 时测量；⑤测量不存在 2π 的不定性问题，波面倾斜相同，不影响测量结果等优 点，从而被广泛应用于自适应光学系统、激光参数测量、光学元件面形检测及光 学系统装调当中。自研 351nm 波前传感器如图 1 所示：
功能特点：
1）测量功能：波前畸变 PV、RMS、zernike 像差系数/lengder 像差系数、斯 特列尔比（SR）、点扩散函数（PSF）、线扩散函数（LSF）、调制传递函数 （MTF）、瑞奇-康芒法功能模块；
2）测量方式：实时动态测量及多次平均测量、相对测量及绝对测量；
3）手动及自动设置测量模板（mask）；
4) 非均匀光场波前测量；
5）具有波前测量粗瞄准模块，可实现光路快速对准；
6）紫外-近红外光谱测量范围；
7）具有系统自校准功能；
| 项目 | 技术参数 | |
| 性能 | 测量精度（RMS） | 1/125λ@635nm、1/80μm（白光） |
| 测量灵敏度 | 0.5μrad | |
| 测量动态范围 | ±3° | |
| 测量帧频 | 小于 1 帧/秒 | |
| 光学部件 | 光源 | 635nm，1550nm（波长可定制）及白光 |
| 标准镜头 | F#3.3/5.5/7.6（可定制） | |
| 微透镜阵列 | 64×64、128×128 | |
| 探测器靶面尺寸 | 15mm×15mm | |
| 软件 | 波前测量分析专利软件 | 操作系统：windows XP、windows 7 |
| 工作环境 | 湿度 20%-70%; 温度 <45℃ | |
自研波前传感器法国 Imagine Optics 公司生产的波前传感器比对结果如图 2 所示，PV 偏差 0.03λ，RMS 偏差 0.0065λ。
图 2 自研波前传感器及与 Imagine Optics 公司波前传感器比对结果
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