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解决方案

第48课：从初始结构开始设计的微光刻透镜

你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。

镜片数22片
物高31mm
物方数值孔径NA 0.2
波长为UV
像方晶圆尺寸是12.66mm
总长小于1200mm

这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。

首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

      Here is the input for DSEARCH:
      CORE 14 TIME
      DSEARCH 2 QUIET

      SYSTEM
      ID DSEARCH LEFT UNI MM
      OBA 15 31 3 31
      OSNA .2 TCO
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC
      END

      GOALS ELEM 11
      TOTL 600 .1
      TOPD .01
      NPASS 50
      QUICK 20 50
      ANNEAL 50 10 Q
      SNAP 10
      RSTART 1000
      ASTART 25
      THSTART 12

      FOV 0 .5 .707 1
      FWT 1 1 1 1 END
      SPECIAL PANT
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67
      CUL 1.6
      FUL 1.6 END

      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1
      M 0 .1 A SAP
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END
      GO TIME

返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。

使用命令为：

     SAVE LEFT11.

     SAVE LEFT11.

现在激活ACON 2，我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组，输入命令如下：

      CORE 14 TIME
      DSEARCH 3 QUIET

      SYSTEM
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM
      OBB 0 4 83.36
      WAVL .354732 .354712 .354692 END

      GOALS ELEM 11
      TOTL 600 .01
      FNUM 1
      BACK 11 SET
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50
      QUICK 20 50
      ANNEAL 50 10 Q
      SNAP 10
      RSTART 1000
      ASTART 25
      THSTART 12

      FOV 0 .5 .707 1
      FWT 1 1 1 1 END
      SPECIAL PANT
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67
      CUL 1.6
      FUL 1.6 END

      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1
      M 0 1 A P HH 1
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT
      M 0 10 A DI3 END
      GO TIME

结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：

      SAVE RIGHT11.
      SAVE RIGHT11.

现在把这两部分合并起来。再次激活ACON 1，并输入：

      COMBINE 23
      RIGHT11

现在它们被合并成了一个镜头。

现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏，修改TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。

我们有了一个非常好的微光刻镜头。

很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。